一、北洋政府时期县以上行政区划演变
陕西省行政区划在历史上经过多次变化，至清康熙五年（1666）陕西、甘肃分治之后，陕西省辖区再无变化，即今所辖区域。至清末时，陕西省行政区划分为省、道、府（直隶州）、县（散州、厅）四级，全省共置5道、7府、5直隶州、73县、5散州、8厅。各道分别领属为：
西乾鄜道：领1府（西安府）2直隶州20县1散州2厅，治所设于西安。
潼商道：领1府（同州府）1直隶州12县1散州1厅，治所设于潼关。
凤邠道：领1府（凤翔府）1直隶州10县1散州，治所设于凤翔。
延榆绥道：领2府（榆林府、延安府）1直隶州17县1散州，治所设于榆林。
陕安道：领2府（汉中府、兴安府）14县1散州5厅，治所设于南郑。
1911年10月10日武昌起义爆发，陕西革命党人随之响应。10月22日，同盟会联合新军、哥老会及关中刀客，首先在西安发动武装起义，摧毁了清王朝在陕西的统治机构，外县亦先后起义，逐次光复陕西大部州县。陕西是辛亥革命时期第一个响应武昌起义的省份，对全国革命高潮意义重大。西安起义成功后，革命党人建立了革命军政府性质的秦陇复汉军政府。从此，陕西历史进入中华民国时期。
辛亥革命后民国政府改制，1913年1月下令撤销府、州、厅制，在省下设置道、县两级行政区划。陕西省随即于当年2月遵令分别将耀州改为耀县，华州改为华县，商州改为商县，乾州改为乾县，鄜州改为鄜县（今富县），陇州改为陇县，葭州改为葭县（今佳县），宁羌州改为宁羌县（今宁强县），绥德州改为绥德县，邠州改为邠县（今彬县），潼关厅改为潼关县，孝义厅改为孝义县，佛坪厅改为佛坪县，定远厅改为定远县，留坝厅改为留坝县，汉阴厅改为汉阴县，砖坪厅改为砖坪县，宁陕厅改为宁陕县。另外，将咸宁县并入长安县。
此后，又对个别县进行了更名调整。1914年1月，定远县改名为镇巴县，孝义县改名为柞水县，怀远县改名为横山县，三水县改名为栒邑县（今旬邑县）。1917年5月，砖坪县改名为岚皋县。1920年5月，划出平利县南部新置镇平县。至此，全省共置91县。
民国初年，又依据人口、面积、赋税征收量等情况，将各县分别厘定为一等、二等、三等3个等级。
在省与县之间，民国初年设置的道，系继续沿用清代旧制，道的行政首长初名观察使。1913年1月，根据北洋政府公布的《划一现行各道地方行政官厅组织令》，陕西省将原清代各道改为陕中道、陕东道、陕西道、陕北道、陕南道5道，任命各道观察使。1913年12月31日调整道的区划，裁撤陕东、陕西2道，省辖陕中、陕南、陕北3道。1914年5月北洋政府公布《道官制》，各道观察使改称道尹。6月，又公布《各省所属道区域表》。据此，陕西3道改称关中道、汉中道、榆林道，并重新任命了各道道尹。
至1920年5月，陕西全省共置3道91县，其分别辖属为：
关中道：一等县13县，二等县20县，三等县10县，共辖43县，道尹公署驻长安。
一等县：长安县、临潼县、渭南县、盩厔县（今周至县）、富平县、大荔县、蒲城县、郃阳县（今合阳县）、凤翔县、宝鸡县、扶风县、商县、乾县。
二等县：咸阳县、三原县、泾阳县、鄠县（今户县）、蓝田县、兴平县、礼泉县、高陵县、耀县、华县、华阴县、朝邑县、澄城县、韩城县、雒南县、岐山县、陇县、郿县、武功县、邠县。
三等县：同官县、潼关县、白水县、柞水县、汧阳县、麟游县、永寿县、栒邑县、淳化县、长武县。
汉中道：一等县2县，二等县12县，三等县11县，共辖25县，道尹公署驻南郑。
一等县：南郑县、安康县。
二等县：城固县、沔县、洋县、褒城县、宁羌县、西乡县、镇巴县、山阳县、洵阳县、白河县、紫阳县、镇安县。
三等县：平利县、略阳县、留坝县、凤县、佛坪县、宁陕县、岚皋县、汉阴县、石泉县、商南县、镇平县。
榆林道：二等县8县，三等县15县，共辖23县，道尹公署驻榆林。
二等县：榆林县、鄜县、神木县、府谷县、肤施县、米脂县、绥德县、靖边县。
三等县：洛川县，中部县、宜君县、宜川县、葭县、横山县、安塞县、甘泉县、保安县、定安县、延长县、延川县、定边县、清涧县、吴堡县。
二、南京国民政府时期县以上行政区划演变
1927年陕西省政府成立后，行政区划的道一级设置取消，改为省政府直接领县，但在区域名称上仍分为关中、榆林、汉中3个区，各区所属县即原各道所领县未变。
随后，又将各县依据其人口、面积、经济、交通等情况，分别厘定为三个等级。其中：
一等县14个：长安、临潼、渭南、大荔、风翔、咸阳、华县、华阴、潼关、榆林、南郑、安康、城固、西乡。
二等县40个：泾阳、盩厔、富平、蒲城、郃阳、宝鸡、扶风、商县、乾县、耀县、陇县、邠县、三原、鄠县、蓝田、兴平、礼泉、朝邑、韩城、雒南、岐山、郿县、武功、白水、长武、鄜县、神木、府谷、肤施、绥德、米脂、洛川、沔县、洋县、褒城、宁羌、镇巴、白河、汉阴、镇平。
三等县37个：澄城、同官、高陵、柞水、汧阳、麟游、永寿、栒邑、淳化、靖边、中部、宜君、宜川、葭县、横山、安塞、甘泉、保安、安定、延长、延川、清涧、吴堡、定边、山阳、洵阳、紫阳、镇安、平利、略阳、留坝、凤县、佛坪、宁陕、岚皋、石泉、商南。
1929年2月，省政府划出朝邑、华阴两县的各一部分新置平民县，厘定为三等县，划属关中区。自此，全省由原91县增为92县。
1935年始，行政区划设置逐步改为省、行政督察区、县三级。是年7月，先将榆林、汉中两区的48县及关中区的商县、雒南、柞水3县共51县划为6个行政督察区，分别辖县为：
第一区：榆林、神木、米脂、府谷、葭县、靖边、定边、横山，共8县。
第二区：绥德、肤施、延长、延川、安塞、安定、保定、清涧、吴堡，共9县。
第三区：洛川、鄜县、中部、宜君、宜川、甘泉，共6县。
第四区：商县、雒南、商南、镇安、山阳、柞水、宁陕，共7县。
第五区：安康、白河、镇平、汉阴、洵阳、平利、岚皋、紫阳、石泉，共9县。
第六区：南郑、城固、西乡、洋县、沔县、镇巴、褒城、宁羌、佛坪、留坝、略阳、凤县，共12县。
关中区其他41县由省政府直辖。同时原关中、汉中、榆林三区名义取消。各县厘定等级未变。
1936年7月增设第七行政督察区，下辖：邠县、乾县、耀县、礼泉、同官、长武、永寿、栒邑、淳化，共9县。
1938年10月又增置第八、第九、第十等三个行政督察区，其分别辖县为：
第八区：渭南、华阴、华县、潼关、平民、朝邑、郃阳、韩城、大荔、澄城、蒲城、白水，共12县。
第九区：凤翔、陇县、汧阳、宝鸡、岐山、扶风、武功、郿县、盩厔、麟游，共10县。
第十区：咸阳、富平、三原、泾阳、高陵、兴平、鄠县、长安、临潼、蓝田，共10县。
与此同时，第四区之宁陕县划归第五区。
至此，全省92县全部分别划归10个行政督察区管辖。
1940年，陕西实施新县制，其中一项内容就是根据各县人口、面积、经济、交通等状况重新厘定县之等级，共分为六等，其中：
一等县6个：安康、南郑、渭南、蒲城、长安、临潼；
二等县17个：榆林、城固、西乡、洋县、华县、大荔、郃阳、韩城、凤翔、盩厔 [1]、宝鸡、咸阳、泾阳、富平、鄠县、蓝田、兴平；
三等县18个：米脂、绥德、洛川、商县、雒南、汉阴、沔县、褒城、邠县、乾县、华阴、朝邑、澄城、扶风、陇县、岐山、武功、三原；
四等县13个：府谷、鄜县、宜川、镇安、洵阳、宁羌、略阳、礼泉、长武、白水、郿县、高陵、耀县；
五等县19个：神木、葭县、横山、清涧、中部、宜君、同官、商南、山阳、白河、平利、紫阳、石泉、凤县、永寿、栒邑、潼关、汧阳、肤施；
六等县19个：靖边、定边、延长、延川、安塞、安定、保安、吴堡、甘泉、柞水、镇平、岚皋、宁陕、镇巴、佛坪、留坝、淳化、平民、麟游。
1940年年初，在陕甘宁边区周边地区发生国共摩擦后，第二行政督察专员公署于7月撤销，其督察区名义保留，所辖县由一区专署代管。与此同时，七区之同官县划归三区管辖；耀县划归十区管辖。
1941年1月，划设黄龙设治局（原黄龙山垦区），由省政府建设厅领导。
1941年3月，宁羌县改名为宁强县。
1944年4月，原第二区名义正式取消。同时将三区之宜君、同官2县及七区之栒邑、淳化2县和十区之耀县共5县划出重新设置第二行政督察区。另外将黄龙设治局（厘定相当于三等县）划归三区管辖。
1944年6月，中部县改名为黄陵县。1946年7月，同官县改名为铜川县，1947年，肤施县改名为延安县。
1947年3月，国民党军向陕甘宁边区发动全面进攻，占领边区多数地区。4月，陕西省政府将一区之17县及三区之鄜县、甘泉两县共19县改划设置榆林、绥德、延安三个行政督察区，其中榆林区辖榆林、府谷、神木、葭县、横山、靖边、定边，共7县；绥德区辖绥德、米脂、吴堡、延川、安定、清涧，共6县；延安区辖延安、甘泉、鄜县、延长、安塞、保安，共6县。
1947年10月，重新调整全省区划，将92县1设治局划设为11个行政督察区：
第一区辖：榆林、府谷、神木、葭县、横山、定边、靖边，共7县。
第二区辖：延安、延长、保安、安塞、甘泉、鄜县，共6县。
第三区辖：洛川、宜川、黄陵、宜君、铜川、黄龙设治局，共5县1设治局。
第四区辖：商县、雒南、商南、山阳、柞水、镇安，共6县。
第五区辖：安康、汉阴、洵阳、白河、平利、紫阳、石泉、镇平、岚皋、宁陕，共10县。
第六区辖：南郑、城固、西乡、洋县、沔县、褒城、宁强、略阳、凤县、镇巴、佛坪、留坝，共12县。
第七区辖：邠县、乾县、礼泉、长武、永寿、栒邑、淳化，共7县。
第八区辖：渭南、蒲城、大荔、华县、郃阳、韩城、华阴、朝邑、澄城、白水、潼关、平民，共12县。
第九区辖：宝鸡、凤翔、盩厔、扶风、陇县、岐山、武功、郿县、汧阳、麟游，共10县。
第十区辖：长安、咸阳、临潼、泾阳、富平、鄠县、蓝田、兴平、三原、高陵、耀县，共11县。
第十一区辖：绥德、清涧、延川、米脂、吴堡、安定，共6县。
与此同时，还划设了陕北行政区，第一、第二、第十一等三个行政督察区由陕北行政公署管辖。
但此后，随着国民党军在陕北以及关中地区的军事失利和丢失大量地区，陕西省行政区划一再发生变动。1948年2月，第十一行政督察区名义取消，其所辖县划归第二区管辖。1948年4月，陕北绝大部分县为陕甘宁边区根据地收复，陕北行署撤销。1948年6月，再次调整全省区划，并恢复第十一行政督察区名义。各区辖县如下：
第一区：榆林、神木、府谷、葭县、横山、定边、靖边、延安、延长、保安、甘泉、鄜县、安塞、延川、绥德、清涧、吴堡、米脂、安定，共19县。
第二区：临潼、蓝田、渭南、华县、华阴、潼关，共6县。
第三区：富平、三原、高陵、耀县、铜川、宜君、黄陵、淳化、泾阳，共9县。
第四区：商县、商南、雒南、山阳、镇安、柞水，共6县。
第五区和第六区辖县不变。
第七区：乾县、礼泉、永寿、邠县、栒邑、长武，共6县。
第八区：韩城、朝邑、郃阳、平民、大荔，共5县。
第九区：宝鸡、汧阳、郿县、麟游、扶风、岐山、陇县、凤翔，共8县。
第十区：武功、兴平、咸阳、长安、鄠县、盩厔，共6县。
第十一区：蒲城、澄城、白水、宜川、洛川、黄龙设治局，共5县1设治局。
1949年3月，第十一行政督察区设置再次取消，其所辖之蒲城县划归二区管辖；澄城县划归八区管辖；其他3县及1设治局因被西北野战军解放，未明确其辖属。
1949年5月，西安解放，民国陕西省政府迁往南郑县。为巩固其所剩地盘，9月，省政府又将第五区之石泉、宁陕及第六区之洋县、佛坪共4县划出复置第十一行政督察区。与此同时，将第六区之南郑、城固、西乡、镇巴共4县划出增置第十二行政督察区。
三、县以下行政区划设置
民国初期前后，陕西各县县以下行政区划不尽一致，有的县下置里（操），有的县下置廒，有的县下设仓，其以田赋、役夫征收管理为主要目的。另外，一度曾实行新农村制度，设村公所，置正副村长，村以下10户为1牌，继之10户为1甲，5甲为1排，百家为村，县下设区。1929年后，改为20至50乡镇为一区；百户以上村庄为乡，百户以上街市为镇；乡镇以下居民25户为闾，5户为邻。1933年，各县实行保甲制度，其层级设置为：县下划设区，区下划设联保，联保下置保，保下置甲。其编制原则是：以户为单位，原有乡镇为基础，按比邻之家屋，由东而西、先南后北顺序编组。10户为1甲，10甲为1保,同乡（镇）之保联合为联保。如遇特殊情况，每甲不得少于6户，多于15户；每保不得少于6甲，多于15甲；每联保不少于4保，多于15保。联保以原有乡（镇）命名；保、甲在一联保内以顺序数命名。编制后，据1938年不完全统计 [2]，全省共487个区，1479个联保，12473保，138412甲。
1939年，各县重新整理编组保甲，改变十进位编组原则，规定每保不得少于15甲，多于25甲。经重新整理编组后，全省共1009联保，7251保。
1940年再次改制，取消区、联保设置，改为县下设乡（镇）、保、甲三级。其编制原则为，10户为一甲，20甲为一保，4保至15保为一乡（镇）。遇有特殊情况时，可6户至15户编为一甲，15甲至20甲编为一保；原有乡（镇）不及4保者，可与邻近乡（镇）合并。编制后，据1941年不完全统计，全省共974个乡（镇），7182保，144671甲。此后县以下区划制度再无变化。
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[1] 1945年后改为三等县。
[2] 缺陕甘宁边区部分县之统计。下同。
